चंद्रयान 3 लैंडर पर चंद्र भूकंपीय गतिविधि उपकरण (आई.एल.एस.ए.) नीतभार चंद्रमा पर माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम (एम.ई.एम.एस.) प्रौद्योगिकी-आधारित उपकरण का पहला उदाहरण है। इसने रोवर और अन्य नीतभार की गतिविधियों के कारण होने वाले कंपन को रिकॉर्ड किया है।

आई.एल.एस.ए. में छह उच्च-संवेदनशीलता एक्सेलेरोमीटर का एक समूह शामिल है, जो सिलिकॉन माइक्रो मैकेनिंग प्रक्रिया का उपयोग करके स्वदेशी रूप से निर्मित किया गया है। कोर संवेदन तत्व में कॉम्ब-संरचित इलेक्ट्रोड के साथ एक स्प्रिंग-मास सिस्टम होता है। बाहरी कंपन से स्प्रिंग का विक्षेपण होता है, जिसके परिणामस्वरूप कैपेसिटेंस में परिवर्तन होता है जो वोल्टेज में परिवर्तित हो जाता है।

आई.एल.एस.ए. का प्राथमिक उद्देश्य प्राकृतिक भूकंपों, प्रभावों और कृत्रिम घटनाओं से उत्पन्न जमीनी कंपन को मापना है। 25 अगस्त, 2023 को रोवर के नेविगेशन के दौरान रिकॉर्ड किए गए कंपन को चित्र में दर्शाया गया है। इसके अतिरिक्त, 26 अगस्त, 2023 को रिकॉर्ड की गई एक घटना, जो स्वाभाविक प्रतीत होती है, भी दिखाई गई है। इस घटना के स्रोत की अभी जांच चल रही है।

आई.एल.एस.ए. नीतभार को निजी उद्योगों के सहयोग से लियोस, बैंगलोर में डिज़ाइन और साकार किया गया था। चंद्रमा की सतह पर आई.एल.एस.ए. को स्थापित करने के लिए तैनाती तंत्र यू.आर.एस.सी., बेंगलुरु द्वारा विकसित किया गया था।